Tanderun girma na lu'ulu'u na SiC SiC Ingot girma inci 4 inci 6 inci 8 PTV Lely TSSG LPE hanyar girma

Injin girma na SiC lu'ulu'u SiC Ingot girma inci 4 inci 6 inci 8 PTV Lely TSSG LPE hanyar girma Hoto da aka nuna

Takaitaccen Bayani:

Girman lu'ulu'u na silicon carbide (SiC) muhimmin mataki ne a cikin shirya kayan semiconductor masu aiki mai kyau. Saboda yawan narkewar SiC (kimanin 2700°C) da kuma tsarin polytypic mai rikitarwa (misali 4H-SiC, 6H-SiC), fasahar girma ta lu'ulu'u tana da babban matsala. A halin yanzu, manyan hanyoyin girma sun haɗa da hanyar canja wurin tururi na jiki (PTV), hanyar Lely, hanyar girma mafi girma ta iri (TSSG) da hanyar epitaxy ta ruwa (LPE). Kowace hanya tana da nata fa'idodi da rashin amfani kuma ta dace da buƙatun aikace-aikace daban-daban.

Aika mana imel

Siffofi

Manyan hanyoyin girma lu'ulu'u da halayensu

(1) Hanyar Canja Tururi ta Jiki (PTV)
Ka'ida: A yanayin zafi mai yawa, albarkatun SiC suna ƙaruwa zuwa yanayin iskar gas, wanda daga baya za a sake yin amfani da shi a kan lu'ulu'u na iri.
Babban fasali:
Babban zafin jiki mai girma (2000-2500°C).
Ana iya noman lu'ulu'u masu inganci, masu girma 4H-SiC da 6H-SiC.
Yawan girma yana da jinkiri, amma ingancin lu'ulu'u yana da yawa.
Aikace-aikace: Ana amfani da shi galibi a cikin na'urorin lantarki masu amfani da wutar lantarki, na'urorin RF da sauran filayen zamani.

(2) Hanyar Lely
Ka'ida: Ana shuka lu'ulu'u ta hanyar sublimation da sake sake yin amfani da foda SiC a yanayin zafi mai yawa.
Babban fasali:
Tsarin girma ba ya buƙatar iri, kuma girman lu'ulu'u ƙarami ne.
Ingancin lu'ulu'u yana da girma, amma ingancin girma yana da ƙasa.
Ya dace da binciken dakin gwaje-gwaje da kuma samar da ƙananan batches.
Aikace-aikace: Ana amfani da shi sosai a binciken kimiyya da shirya ƙananan lu'ulu'u na SiC.

(3) Babban Hanyar Ci Gaban Maganin Iri (TSSG)
Ka'ida: A cikin maganin zafi mai zafi, kayan albarkatun SiC suna narkewa kuma suna yin lu'ulu'u a kan lu'ulu'un iri.
Babban fasali:
Yanayin girma yana da ƙasa (1500-1800°C).
Ana iya haɓaka lu'ulu'u masu inganci da ƙarancin lahani na SiC.
Yawan girma yana da jinkiri, amma daidaiton lu'ulu'u yana da kyau.
Aikace-aikace: Ya dace da shirya lu'ulu'u masu inganci na SiC, kamar na'urorin optoelectronic.

(4) Ruwan Lokaci Mai Sauƙi (LPE)
Ka'ida: A cikin maganin ƙarfe mai ruwa, SiC, tsiron epitaxial na kayan abu a kan substrate.
Babban fasali:
Yanayin girma yana da ƙasa (1000-1500°C).
Saurin girma, wanda ya dace da girman fim.
Ingancin lu'ulu'u yana da girma, amma kauri yana da iyaka.
Aikace-aikace: Ana amfani da shi musamman don haɓakar epitaxial na fina-finan SiC, kamar firikwensin da na'urorin optoelectronic.

Babban hanyoyin aikace-aikace na silicon carbide crystal makera

Injin murhu na SiC shine babban kayan aikin shirya lu'ulu'u masu siffar sic, kuma manyan hanyoyin amfani da shi sun haɗa da:
Kera na'urorin samar da wutar lantarki: Ana amfani da su wajen haɓaka lu'ulu'u masu inganci na 4H-SiC da 6H-SiC a matsayin kayan substrate ga na'urorin samar da wutar lantarki (kamar MOSFETs, diodes).
Aikace-aikace: motocin lantarki, inverters na photovoltaic, kayayyakin wutar lantarki na masana'antu, da sauransu.

Kera na'urorin Rf: Ana amfani da su don haɓaka lu'ulu'u na SiC marasa lahani a matsayin abubuwan da aka yi amfani da su don biyan buƙatun sadarwa na 5G, radar da sadarwa ta tauraron dan adam.

Kera na'urorin lantarki na Optoelectronic: Ana amfani da su wajen noman lu'ulu'u masu inganci na SiC a matsayin kayan da aka yi amfani da su wajen samar da hasken LED, na'urorin gano hasken ultraviolet da kuma na'urorin laser.

Binciken kimiyya da ƙananan samar da kayayyaki: don binciken dakin gwaje-gwaje da sabbin kayan aiki don tallafawa ƙirƙira da inganta fasahar haɓaka lu'ulu'u ta SiC.

Kera na'urorin zafin jiki mai yawa: Ana amfani da su don haɓaka lu'ulu'u na SiC masu jure zafi mai yawa a matsayin kayan tushe don na'urori masu auna zafin jiki da na iska.

Kayan aiki da ayyukan tanda na SiC da kamfanin ke bayarwa

XKH ta mai da hankali kan haɓakawa da ƙera kayan aikin tanderun lu'ulu'u na SIC, tana ba da ayyuka masu zuwa:

Kayan aiki na musamman: XKH tana samar da tanderun girma na musamman tare da hanyoyin girma daban-daban kamar PTV da TSSG bisa ga buƙatun abokin ciniki.

Tallafin Fasaha: XKH tana ba wa abokan ciniki tallafin fasaha don dukkan tsarin, tun daga inganta tsarin haɓaka lu'ulu'u zuwa kula da kayan aiki.

Ayyukan Horarwa: XKH tana ba da horon aiki da jagorar fasaha ga abokan ciniki don tabbatar da ingantaccen aikin kayan aiki.

Sabis na Bayan Siyarwa: XKH tana ba da sabis da haɓaka kayan aiki cikin sauri don tabbatar da ci gaba da samar da abokan ciniki.

Fasahar haɓaka lu'ulu'u ta silicon carbide (kamar PTV, Lely, TSSG, LPE) tana da muhimman aikace-aikace a fannin lantarki, na'urorin RF da optoelectronics. XKH tana ba da kayan aikin tanderu na SiC na zamani da kuma cikakken sabis don tallafawa abokan ciniki wajen samar da lu'ulu'u masu inganci na SiC da kuma taimakawa ci gaban masana'antar semiconductor.